在ICP光譜分析中，儀器出現(xiàn)各種各樣的故障問題是難免的，故障的產(chǎn)生將給測試工作帶來許多的不利因素：如果操作者掌握一些儀器故障的簡單排除方法，會給日常測試工作帶來很大便利。如果遇到復雜的儀器故障問題，操作者如果能準確而詳盡地描述故障現(xiàn)象，也會給維修人員給予極大的幫助，使廠家維修人員可以不再現(xiàn)場的情況下對儀器的故障正確判斷，有的故障可以通過電話指導幫助操縱人員排除；即使相對復雜的問題，廠家維修人員也能在現(xiàn)場時做好充足的準備工作，使故障問題可以盡快解決。

目前各個廠家各個型號的ICP光譜儀計算機系統(tǒng)都有它自己的診斷程序，在診斷程序的幫助下會給操作者提供正確的檢查方法，方便操作者查找儀器的故障，所以在儀器出現(xiàn)故障時，操作者首先要確認儀器的計算機系統(tǒng)是否正常工作，根據(jù)計算機系統(tǒng)的提示尋找故障部位。另外操作者還可以通過聽、看和摸等方式來確定儀器故障。ICP光譜儀的故障與其使用環(huán)境、儀器的性能、操作人員的業(yè)務(wù)能力及日常維護水平密切相關(guān)。其故障可分為性能故障和使用故障兩大類。性能故障時由于儀器本身設(shè)計或安裝或某些元器件不符合要求而引起；使用故障時儀器的使用環(huán)境不符合儀器的要求，或是由于操作者未按照規(guī)定要求使用和維護儀器不當而引起的。同一個故障既可能有性能故障引起，也能由使用故障而引起，因此要根據(jù)儀器故障現(xiàn)象來一一識別。